集成化多功能傳感器待步步向前

  隨著傳感器及微加工技術的發展，人們可以在同一襯底材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結構形式：

  幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片上，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個敏感元器件的工作氛圍相同，容易實現補償和校正，這是多功能傳感器發展的一個方向；

  幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數，各敏感元器件是獨立的，如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起構成溫濕度多功能傳感器；

  用同一個敏感元器件的不同效應，得到不同的信息，如將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導率或介電常數物質的作用下，表現出不同的電容和電感。

  同一個敏感元件在不同激勵下表現出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵電壓、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時可相竄于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。

  就近些年看來，多功能集成化傳感器研究受到國內外的廣泛關注，國內外文獻報道，已經有用于環境監測、化學分析、生物保護等方面的集成傳感器。隨著MEMS技術和比技術的不斷發展，實現傳感器的集成化、多功能化成為可能。